ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ತಯಾರಿಸುವ ವಿಧಾನ.

1. ಲೋಡ್ ಆಗುತ್ತಿದೆ

ಲೇಪಿತ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅನ್ನು ಶಾಖ ವಿನಿಮಯ ಮೇಜಿನ ಮೇಲೆ ಇರಿಸಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಿ, ನಂತರ ತಾಪನ ಉಪಕರಣಗಳು, ನಿರೋಧನ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಕುಲುಮೆಯ ಕವರ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಿ, ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಒತ್ತಡವನ್ನು 0.05-0.1mbar ಗೆ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಕುಲುಮೆಯನ್ನು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಿ. ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಸುಮಾರು 400-600mbar ನಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಇರಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅನಿಲವಾಗಿ ಪರಿಚಯಿಸಿ.

2. ತಾಪನ

ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹವನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೀಟರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಿ, ಮೊದಲು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗಗಳು, ನಿರೋಧನ ಪದರ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ತೇವಾಂಶವನ್ನು ಆವಿಯಾಗಿಸಿ, ತದನಂತರ ನಿಧಾನವಾಗಿ ಬಿಸಿ ಮಾಡಿ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ತಾಪಮಾನವು ಸುಮಾರು 1200-1300 ತಲುಪುತ್ತದೆ.℃. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು 4-5 ಗಂಟೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

3. ಕರಗುವಿಕೆ

ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಸುಮಾರು 400-600mbar ನಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಇರಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅನಿಲವಾಗಿ ಪರಿಚಯಿಸಿ. ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ನಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸುಮಾರು 1500 ಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳಲು ತಾಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಹೆಚ್ಚಿಸಿ℃, ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವು ಕರಗಲು ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ. ಸುಮಾರು 1500 ಇಟ್ಟುಕೊಳ್ಳಿ℃ಕರಗುವಿಕೆ ಪೂರ್ಣಗೊಳ್ಳುವವರೆಗೆ ಕರಗುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸುಮಾರು 20-22 ಗಂಟೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

4. ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವನ್ನು ಕರಗಿಸಿದ ನಂತರ, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸುಮಾರು 1420-1440 ಕ್ಕೆ ಇಳಿಸಲು ತಾಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.℃, ಇದು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕರಗುವ ಬಿಂದುವಾಗಿದೆ. ನಂತರ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯು ಕ್ರಮೇಣ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ, ಅಥವಾ ನಿರೋಧನ ಸಾಧನವು ಕ್ರಮೇಣ ಏರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯು ನಿಧಾನವಾಗಿ ತಾಪನ ವಲಯವನ್ನು ಬಿಟ್ಟು ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ಶಾಖ ವಿನಿಮಯವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ; ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಕೆಳಗಿನಿಂದ ಕರಗುವ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ನೀರನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುವ ತಟ್ಟೆಯ ಮೂಲಕ ರವಾನಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೊದಲು ಕೆಳಭಾಗದಲ್ಲಿ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಪೂರ್ಣಗೊಳ್ಳುವವರೆಗೆ ಘನ-ದ್ರವ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಯಾವಾಗಲೂ ಸಮತಲ ಸಮತಲಕ್ಕೆ ಸಮಾನಾಂತರವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸುಮಾರು 20-22 ಗಂಟೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

5. ಅನೆಲಿಂಗ್

ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಸ್ಫಟಿಕದ ಕೆಳಭಾಗ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಭಾಗದ ನಡುವಿನ ದೊಡ್ಡ ತಾಪಮಾನದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್‌ನಿಂದಾಗಿ, ಇಂಗೋಟ್‌ನಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವು ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರಬಹುದು, ಇದು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ತಾಪನ ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಟರಿಯ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮತ್ತೆ ಒಡೆಯಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ. . ಆದ್ದರಿಂದ, ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯು ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್‌ನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಏಕರೂಪವಾಗಿಸಲು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು 2-4 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ಕರಗುವ ಬಿಂದುವಿನ ಬಳಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

6. ಕೂಲಿಂಗ್

ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಅನೆಲ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ತಾಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಿ, ಶಾಖ ನಿರೋಧಕ ಸಾಧನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್ ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್‌ನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಕುಲುಮೆಯೊಳಗೆ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲದ ದೊಡ್ಡ ಹರಿವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿ. ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ; ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಅನಿಲ ಒತ್ತಡವು ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಲುಪುವವರೆಗೆ ಕ್ರಮೇಣ ಏರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸುಮಾರು 10 ಗಂಟೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.